二氧化硅靶材
纯度：99.99%
分子式：SiO2
分子量：60.084
CAS号：14808-60-7
密度：2.2
熔点：1610℃
折射率：1.45
透明波段：0.2-9um
二氧化硅容易蒸发，放气量小。
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